先导基电披露离子注入机订单与客户进展

先导基电披露其离子注入机业务订单与客户进展良好。公司称，2026年上半年，子公司凯世通获得2家头部客户批量重复订单，并新增开拓2家新客户订单。 截至6月30日，低能大束流离子注入机客户突破14家，超低温离子注入机客户突破7家，高能离子注入机客户突破3家；先进制程低能大束流离子注入机客户突破2家，中束流离子注入机客户1家。 公司称，凯世通国产先进制程低能大束流离子注入机Hyperion正向国内头部12英寸逻辑与存储客户陆续交付，验证进展良好；首台面向光电芯片材料薄膜铌酸锂衬底制备的中束流离子注入机已交付国内客户。

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