三星、SK海力士、美光联手推进机器人充电标准化，老旧晶圆厂无人化提速

三星电子、SK海力士、美光正联合国际半导体设备与材料协会（SEMI）推进机器人充电标准化，为老旧晶圆厂引入移动机器人、向无人化转型打基础。标准化的首要目标是让异构机器人共用同一套充电设备，下一阶段计划将充电数据对接制造执行系统（MES），按生产计划调度作业与充电时段。目前半导体行业与机器人行业之间的标准制定分工尚未敲定。