中微公司：刻蚀设备贡献逾八成收入增量，新业务商业化迈出关键一步

中微公司2025年刻蚀设备收入达98.32亿元，同比增长35.12%，占全年33.19亿元收入增量的76.97%，较2024年的91.87%有所下降。2024年首次实现销售的LPCVD薄膜设备2025年收入增至5.06亿元，同比增长224.23%，贡献10.54%的收入增量，累计出货薄膜设备已突破300个反应台。