中微公司全球首台高选择性刻蚀设备 PrimoDomingo 顺利付运

中微公司宣布 PrimoDomingo 气相高选择性刻蚀设备全球首台机顺利付运国内重要集成电路研发制造客户。该设备面向 GAA、3D NAND、3D DRAM 等器件工艺需求，填补了国内在下一代 3D 半导体器件制造中关键刻蚀工艺的自主化空白。