中微公司计划3至5年开发102款新设备，研发投入约130亿元

中微公司（AMEC）高级副总裁丛海在2026湾芯展上表示，公司目前拥有54条高端设备产品线，研发周期已从3至5年缩短至两年以内，每年推出20多款新设备。公司计划未来3至5年开发102款新设备，研发投入总额约130亿元，覆盖前道高端IC设备、先进后道封装及更广泛的半导体应用。中微及其合作伙伴的目标是在5至10年内覆盖约60%的高端IC设备市场。