精测电子：明场光学缺陷检测设备完成28nm产线验收、14nm产线交付

精测电子(300567.SZ)在投资者关系活动中表示，其明场光学缺陷检测设备已完成28nm制程产线验收和14nm制程产线交付。2026年上半年公司新取得国内头部客户14nm制程订单，该设备目前已完成交付，设备整机成熟度与供应链核心零部件持续完善。