中微公司丛海：近3到5年将累计开发102个新设备，研发总投资近130亿元

中微公司资深副总裁丛海表示，公司现有54种高端设备产品系列，研发周期已从3-5年缩短至2年以内，每年开发20多种新设备。未来近3到5年，中微公司将累计开发102个新设备，研发总投资近130亿元。