中微公司发布Primo Matrix等离子体晶圆切割设备并交付首台

中微公司发布全新 PrimoMatrix 双反应台等离子体晶圆切割设备，首台设备已顺利付运国内重要集成电路封装客户。该设备为公司首台等离子体晶圆切割产品，用于集成电路封装环节。

中微公司（AMEC）发布 Primo Matrix® 双反应器等离子体晶圆切割系统，首台设备已发往国内一家主要集成电路封装客户。

中微公司正式发布 Primo Matrix® 双反应台等离子体晶圆切割设备，首台设备已顺利付运国内重要集成电路封装客户。该产品为公司全新产品线，标志着其在等离子体晶圆切割设备领域实现交付落地。