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中微公司（AMEC）出货首台 Primo Matrix® 双反应器等离子体晶圆切割系统
AMEC ships first Primo Matrix® dual-reactor plasma wafer dicing system
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中微公司（AMEC）发布 Primo Matrix® 双反应器等离子体晶圆切割系统，首台设备已发往国内一家主要集成电路封装客户。
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中微公司（AMEC）出货首台 Primo Matrix® 双反应器等离子体晶圆切割系统