微导纳米将发布PVD新品及Ru ALD新工艺

微导纳米将于2026湾芯展期间发布iMagtron PVD系列两款新品，并推出基于iTomic MeT设备的Ru ALD新工艺。该公司称，新工艺攻克了钌薄膜超薄连续成膜难题。 此次PVD新品亮相意味着微导纳米补齐PVD板块，完成ALD、CVD、PVD三大薄膜沉积路线的产品布局。

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