微导纳米将发布 iMagtron PVD 系列新品，补齐 ALD、CVD、PVD 三大薄膜沉积路线布局

微导纳米将于 2026 湾芯展期间发布 iMagtron PVD 系列两款新品，并推出基于 iTomic MeT 设备的 Ru ALD 新工艺，攻克钌薄膜超薄连续成膜难题。此次新品亮相标志该公司补齐 PVD 板块，完成 ALD、CVD、PVD 三大薄膜沉积路线产品布局。