中国电科打造首个立方相氮化铝/金刚石异质结及场效应晶体管

中国电科产业基础研究院固态微波器件与电路全国重点实验室金刚石团队称，已打造出首个立方相氮化铝/金刚石异质结材料和场效应晶体管。 该团队提出畴匹配外延生长模式，以金刚石表面氢终端作为调控反应平台，形成高质量单晶立方氮化铝/金刚石异质结，并研制出高性能增强型异质结场效应晶体管。团队称，这为半导体材料制备提供新范式。

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