中国电科金刚石异质结获突破：首个立方相氮化铝/金刚石异质结与场效应晶体管问世

中国电科产业基础研究院金刚石团队打造出首个立方相氮化铝/金刚石异质结材料和场效应晶体管。团队提出畴匹配外延生长模式，以金刚石表面氢终端作为调控反应平台，形成高质量单晶立方氮化铝/金刚石异质结，并研制出高性能增强型异质结场效应晶体管，为半导体材料制备提供新范式。