中科仪拟自筹4.23亿元扩产集成电路干式真空泵

中科仪公告拟在已有募投项目“干式真空泵产业化建设项目”和“高端半导体设备扩产项目”基础上，实施集成电路干式真空泵扩产项目，总投资42313.48万元，资金来源为自筹。 项目由两个主体分别实施：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司及其上海分公司拟投资19144.70万元，中科仪（南通）半导体设备有限责任公司拟投资23168.78万元。

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