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中科仪拟实施集成电路干式真空泵扩产项目，总投资42313.48万元
【中科仪：拟实施集成电路干式真空泵扩产项目】金十数据10月20日讯，中科仪公告，公司计划在已有募投项目“干式真空泵产业化建设项目”和“高端半导体设备扩产项目”基础上，实施集成电路干式真空泵扩产项目。项目资金来源为自筹资金，项目拟投资42313.48万元，其中中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司及上海分公司拟投资19144.70万元，实施主体为中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司；中科仪（南通）半导体设备有限责任公司拟投资23168.78万元，实施主体为中科仪（南通）半导体设备有限责任公司。
AI 导读
中科仪公告拟在已有募投项目基础上实施集成电路干式真空泵扩产项目，资金来源为自筹，总投资42313.48万元。其中中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司及上海分公司拟投资19144.70万元，中科仪（南通）半导体设备有限责任公司拟投资23168.78万元，两者分别为对应实施主体。
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