拓荆科技发布非晶碳薄膜沉积技术Flowable Carbon
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拓荆科技发布非晶碳薄膜沉积技术Flowable Carbon
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AI 综述
拓荆科技在2026湾芯展半导体产业发展峰会上发布非晶碳薄膜沉积技术Flowable Carbon，该技术目前已应用于NF-300M Supra-H设备。 据拓荆科技介绍，该技术通过前驱体选择与工艺条件控制，可稳定实现Capi-Carbon和Sedi-Carbon两种填充性能不同的可流动碳膜工艺。
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最新进展10月14日 16:10
拓荆科技发布非晶碳薄膜沉积技术 Flowable Carbon，已应用于 NF-300M Supra-H 设备报道时间线
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10月14日
- 东方财富·7x24拓荆科技发布非晶碳薄膜沉积技术 Flowable Carbon，已应用于 NF-300M Supra-H 设备
拓荆科技在 2026 湾芯展半导体产业发展峰会上发布非晶碳薄膜沉积技术 Flowable Carbon，已应用于 NF-300M Supra-H 设备。该技术通过前驱体选择与工艺条件控制，稳定实现 Capi-Carbon 和 Sedi-Carbon 两种填充性能不同的可流动碳膜工艺。
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