拓荆科技发布非晶碳薄膜沉积技术 Flowable Carbon，已应用于 NF-300M Supra-H 设备

拓荆科技在 2026 湾芯展半导体产业发展峰会上发布非晶碳薄膜沉积技术 Flowable Carbon，已应用于 NF-300M Supra-H 设备。该技术通过前驱体选择与工艺条件控制，稳定实现 Capi-Carbon 和 Sedi-Carbon 两种填充性能不同的可流动碳膜工艺。