朗道燧岩工博会首展国产EUV光源样机

朗道燧岩在第二十六届中国国际工业博览会展出极紫外光源系统样机，现场工作人员称其国产化率达90%，绝大多数核心零部件为自主研发，技术路线与国际领先厂商一致，可用于芯片曝光测试。该样机被称作高端光刻机的“心脏”，极紫外光源是7纳米及以下先进制程芯片制造的三大核心零部件之一，长期受海外技术垄断与禁运限制。目前距离量产还需3—5年。

第二十六届中国国际工业博览会上，朗道燧岩展出一台极紫外（EUV）光源系统样机，为目前公开展示中进度最靠前的国产EUV光源样机。现场工作人员称该光源系统国产化率达90%，绝大多数核心零部件为自主研发，技术路线与国际领先厂商一致，可用于芯片曝光测试，但距离量产还需3—5年。极紫外光源是7纳米及以下先进制程芯片制造的三大核心零部件之一，长期受海外技术垄断与禁运限制。