国产EUV光源样机亮相工博会，国产化率达90%、距量产还需3—5年

第二十六届中国国际工业博览会上，朗道燧岩展出一台极紫外（EUV）光源系统样机，为目前公开展示中进度最靠前的国产EUV光源样机。现场工作人员称该光源系统国产化率达90%，绝大多数核心零部件为自主研发，技术路线与国际领先厂商一致，可用于芯片曝光测试，但距离量产还需3—5年。极紫外光源是7纳米及以下先进制程芯片制造的三大核心零部件之一，长期受海外技术垄断与禁运限制。