佳能宣布12月上旬发售KrF光刻机FPA-6400ES6a
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佳能宣布12月上旬发售KrF光刻机FPA-6400ES6a
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佳能宣布将于2026年12月上旬发售KrF（氟化氪）扫描式半导体光刻机FPA-6400ES6a。该机型面向存储和逻辑芯片制造，是佳能光刻设备产品线的新品。
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最新进展11月11日 16:30
佳能将发布KrF半导体光刻机FPA-6400ES6a报道时间线
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11月11日
- 东方财富·7x24佳能将发布KrF半导体光刻机FPA-6400ES6a
佳能宣布将于2026年12月上旬发售KrF（氟化氪）扫描式半导体光刻机FPA-6400ES6a。该机型面向存储和逻辑芯片制造，是佳能光刻设备产品线的新品。
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