佳能将发布KrF半导体光刻机FPA-6400ES6a

佳能宣布将于2026年12月上旬发售KrF（氟化氪）扫描式半导体光刻机FPA-6400ES6a。该机型面向存储和逻辑芯片制造，是佳能光刻设备产品线的新品。