上海微电子在进博会展示新一代前道光刻机SSC800、SSB800模型

上海微电子装备集团在第九届上海进博会（11月5日至10日）中国馆展出自主研发的新一代前道干式扫描投影光刻机 SSC800、SSB800 的模型。 据展示介绍，目前国产前道干式光刻机成像性能已与国际同类领先产品水平相当，套刻精度、生产效率正紧密追赶国际标杆。

AI 根据报道生成 · 25 分钟前更新

还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。