我国新一代光刻机模型亮相进博会：上海微电子展示 SSC800、SSB800

上海微电子装备集团在11月5日至10日举行的第九届上海进博会中国馆展出自主研发的新一代前道干式扫描投影光刻机 SSC800、SSB800（模型）。目前国产前道干式光刻机成像性能已与国际同类领先产品水平相当，套刻精度、生产效率正紧密追赶国际标杆。