三星半导体核心刻蚀工艺配方被曝多次流向泛林集团韩国分公司

据《THE ELEC》11月9日报道，三星电子部分半导体刻蚀工艺配方未经授权被多次传至泛林集团（Lam Research）韩国分公司，2026年下半年被三星调查发现。泛林为三星提供刻蚀、沉积设备，双方原约定仅可获取部分生产线运行数据，但三星发现其通过不当请求获取了明确禁止对外传输的工艺配方文件。目前三星和泛林韩国均未回应媒体问询。